實(shí)用新型中煙管內(nèi)流動(dòng)的煙氣不會(huì)直接接觸到軟連接材料上，降低了對(duì)材料的腐蝕。由于煙管中的負(fù)壓作用，煙氣中的粉塵只會(huì)溢出極少部分，并掉在下風(fēng)罩上，而下風(fēng)罩設(shè)置的角度足夠大，灰塵不會(huì)堆積在上面。因此同現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新本產(chǎn)品由尼龍布，絕緣卷材，橡膠附和布，防油布，防水布，阻燃布、耐酸堿布等多種材質(zhì)可供客戶不同需求來量身定做。方形通風(fēng)軟連接，耐高溫軟連接，耐高溫通風(fēng)軟連接，具有防火，排煙，消聲隔振等功能，能應(yīng)用在建筑排煙系統(tǒng)的軟接及變徑接口上，是理想的建筑排煙用料。它的特點(diǎn)高溫性能好，工作壓力大，氣體流速可達(dá)20米/秒，使用壽命長，耐酸，堿，油，防腐蝕，耐潮，體積輕，安裝方便。

 

*光電技術(shù)研究所邢廷文課題組在高數(shù)值孔徑物鏡波像差測(cè)量技術(shù)的研究中取得進(jìn)展：提出了一種基于二維衍射光柵的高數(shù)值孔徑物鏡波像差測(cè)量方法，指出了高數(shù)值孔徑物鏡波像差測(cè)量時(shí)涉及的幾個(gè)特殊問題和解決方法。該方法還可以應(yīng)用于短波(如深紫外(DUV)、極紫外(EUV)、X射線等)光學(xué)系統(tǒng)的波像差測(cè)量。
　　波像差是評(píng)價(jià)光刻投影物鏡性能的一個(gè)重要指標(biāo)，直接影響光刻機(jī)整機(jī)的分辨率、臨界尺寸、成像對(duì)比度和工藝窗口等。光刻投影物鏡具有數(shù)值孔徑大、工作距離短、波像差極小等特點(diǎn)，45 nm節(jié)點(diǎn)光刻投影物鏡要求實(shí)現(xiàn)亞納米量級(jí)精度波像差測(cè)量。這類高精度測(cè)量的難點(diǎn)在于高精度相位測(cè)量方法的研究、關(guān)鍵器件的制備、測(cè)量環(huán)境影響的控制以及系統(tǒng)誤差的高精度標(biāo)定。